臭氧老化试验箱的臭氧是地球大气中的微量气体，它是由于大气中氧分子受太阳辐射分解成氧原子后，氧原子又与周围的氧分子结合而形成的。臭氧十分不稳定并且很容易分解，无法做为一般产品的存储，需要在试验时制作，产生臭氧的方法一般是用干燥的空气或者干燥的氧气作为原料，然后通过放电的方法制得，还有一种制造抽样的方法是电解法，它是将水电解变成氧元素，然后使其中的自由氧变成臭氧。
使用电解法制作臭氧的主要优势是臭氧在处理过程中一生成就被溶解，即可以用较少的设备进行臭氧处理。若在加压条件下，可生产出较高浓度的臭氧。待消毒处理的水是用来产生臭氧的原料，因此没有来自系统外部的其他污染，在制作臭氧的整个过程中没有离子污染。
臭氧老化试验箱主要的制臭氧技术有电解法、核辐射法、紫外线、等离子体及电晕放电法等几种。应用比较广泛的是臭氧发生器放电氧化空气或纯氧气成臭氧。即应用高能量交互式电流作用空气中的氧气使氧气分子电离而成臭氧。
在紫外线辐射下，通过电子放射或暴晒从双原子氧气可自然形成臭氧。工业上，用干燥的空气或氧气，采用交流电压进行无声放电制取。另外，在低温下电解稀硫酸，或将液体氧气加热都可制得臭氧。